
在半導體設備產業中,相信很多人都聽過 ASM、ASML 和 ASMPT 這三間公司,都是上市公司且前兩間公司總部都位於荷蘭。事實上,這三間公司曾經有著密不可分的血緣關係,它們的起源可以追溯到荷蘭企業家 Arthur del Prado 身上,他甚至被譽為「歐洲半導體設備產業之父」。
目前我們最熟知的半導體設備龍頭 ASML,其實還有兩個哥哥,分別是 ASMI(ASM International,即 ASM 國際)以及 ASMPT(前身為 ASM Pacific,即 ASM 太平洋)。

ASMI 是荷蘭半導體設備大廠,而剛剛提到的 Arthur del Prado,就是這間公司的創辦人兼前執行長。ASMI 於 1968 年在荷蘭創立,當時正值半導體業的起步階段,創辦人 Arthur del Prado 擔任執行長至 2008 年,隨後交棒給兒子 Chuck del Prado,直至 2020 年。
根據 The Chip History Center 網站介紹,Arthur del Prado 被譽為「歐洲半導體設備產業之父」,他擁有罕見的能力,能看到涵蓋技術、市場、人員與商業模式的未來,他在 ASML 的創立過程中扮演關鍵角色,其遠見也促成 ASM Pacific 的成立。

▲歐洲半導體設備產業之父 Arthur del Prado。(Source:Hanarth Fonds)
受美國創新精神鼓舞,Arthur del Prado 回荷蘭創立 ASM
在 Arthur del Prado 早期生活中,他與妻子遊歷美國各地,最終於 1957 年底來到矽谷。他受聘於 Knapic Electro-Physics,以歐洲行銷經理的身份負責將晶體銷售給歐洲客戶。當時半導體產業正蓬勃發展,當時的美國也擁有創新精神,無形中在他心中種下火苗。

(Source:The Chip History Center)
根據過去的媒體記載,Arthur 曾回憶說道,「1958 年 6 月 28 日,我回到荷蘭,一隻手拿着矽,另一隻手拿着 500 美元。」這也是他投入半導體設備產業的起點。
時間推進到 1968 年,Arthur 在荷蘭創立了 ASM International (全名為 Advanced Semiconductor Materials International),並從 1971 年開始生產第一批氣相沉積設備,並透過雜誌、展會頻頻曝光,累積公司的名氣,並於 1981 年大膽赴美、在納斯達克首次進行公開募股(IPO)。
(Source:ASM)
雖然 ASMI 在壯大途中遇到幾次金融危機,但在 1990 年代初開始專注於沉積技術的發展,包括 ALD(原子層沉積)技術,隨後於 1999 年收購芬蘭公司 Microchemistry、2004 年收購韓國公司 Genitech,也奠定了公司在原子層沉積(ALD)領域的重要地位。
原是亞洲行銷部門,二哥 ASMPT 成半導體封裝巨頭
這一年,ASM 開始生產第一批氣相沉積設備,而 Arthur 也認識了半導體封裝業的材料製造商 Fico Toolings。之後,ASM 成為 Fico 的全球代理,並於 1974 年獲取部分股權,並改名爲「ASM Fico」。
ASM Fico 的產品主要是用於半導體零件的封裝和組裝,這一部分主要聚集在亞洲,因此 Arthur 於 1975 年設立亞洲行銷部門(即 ASM 太平洋,為 ASMPT 的前身),主要用來出售 ASM Fico 的產品,但隨著時間演進,這間公司也延伸出自己的生產能力。

(Source:科技新報)
根據 ASMPT 官網介紹,ASM 太平洋(ASM Pacific Technology)最早是 1975 年作為母公司 ASM 的亞洲行銷部門,到 1989 年在香港上市,隨後成為半導體後段組裝與封裝設備的市場領導者。
ASM 於 2013 年出售在 ASMPT 多數股權,至今仍保有少數股權。不過,為了避免與 ASMI 造成混淆,因而改為「ASMPT」(ASMPT Limited)。
差點被飛利浦拋棄!小弟 ASML 意外逆襲上半導體曝光機龍頭
聊完兩個哥哥的故事後,接著來談小弟 ASML 的故事,相信誰也沒想到最後一位小弟,原本竟是陷入資金短缺的部門,最後還演變成半導體供應鏈中非常關鍵的龍頭角色。
ASML 的發展跟飛利浦的物理實驗室「Natlab」脫離不了關係。這間實驗室類似美國 AT&T 貝爾實驗室,除了進行工業研究外,也會同步進行大量基礎研究。這間實驗室開發了包括無線電等突破性技術,並創造許多改變世界的發明。

(Source:ASML)
1962 年底,Natlab 的考察團赴美參觀貝爾實驗室,看到了研究人員展示的半導體晶片,成為飛利浦研究曝光機的契機之一。雖然初步做出了能重複曝光的曝光機原型機,但未受到高層的重視,即使後續做出一些研究成果,但難以轉化為實際產品。
自 1978 年起,飛利浦科學與工業(S&I)以一款自動步進機 PAS2000 的名義推動商業化工作。

▲ 自動步進機 PAS2000。(Source:The Chip History Center)
但此同時,飛利浦在 1980 年間也陷入了財務困境,須同時找到商業化機會,還要降低成本,但在這內外夾擊下,飛利浦開始考慮出售曝光機等非核心業務,但幾間大公司都沒有興趣。也因此,飛利浦科學與工業(S&I)部門經常尋求荷蘭政府和歐盟委員會的額外資金。
事實上,因為半導體產業的興起,許多政府機構以及感興趣、但不熟悉的商業實體,也在不斷找尋機會。在一次的因緣際會下,荷蘭經濟事務部、飛利浦和 ASMI 展開了三方對話,而ASMI 創辦人 Arthur 提議將 ASMI 作爲潛在的解決方案,因為他對飛利浦的曝光產品很感興趣。
然而,對於老牌企業的飛利浦來說,ASMI 這種新公司根本是「暴發戶」,因此沒有馬上答應提議。但在看到 ASMI 逐步成長茁大,甚至在美國納斯達克上市後,持續為財務困擾的飛利浦一改先前的態度,決定與 ASMI 成立合資事業,雙方各占 50% 持股,並命名為 ASM Lithography(ASML 前身),於 1984 年正式成立。
只可惜,在合資公司成立不久,整個半導體市場陷入停滯,ASMI 開始出現虧損,加上開發 ASML 曝光機相當燒錢,而該公司在 1986 年僅售出 12 台曝光機。在這樣的背景下,ASM 最終於 1988 年出售在 ASML 的股份,Arthur 的曝光機夢碎,但也造就了一個龍頭的崛起。
(首圖來源:ASML)